Vanguard Automation Reprise 1000 Series光阻塗佈(含保護層)清洗機
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產品特色
- 單模光波導及自由曲面微透鏡之高精準奈米加工
- 多功能性：後處理適用於各式零件及幾何形狀。例如：SOI及SiN晶片、InP雷射、SMFs
- 由強大之軟體操作工業級機器平台
- 通用之硬體設備與具重構性及功能性之軟體
- 一站式解決方案：客製化流程，包含全自動後處理
- 具成本效益之生產：與vanguard SONATA 1000 series搭配可成為全自動化生產
產品資訊
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廠商名稱
Vanguard Automation GmbH -
英文名稱
REPRISE 1000 SERIES -
應用
將各種混合晶片整合一體化 - 優化封裝之高效能光互連
- 再現性高之後製程處理
- 高度可擴展之複雜後製程處理
